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半導體設備真空腔高精度測溫系統

更新時(shí)間:2024-05-26

簡(jiǎn)要描述:

半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS
1、精密測溫NTC傳感器;
2、真空貫通法蘭;
3、精密多通道測溫儀;
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

型號:Vac.TEMP TS點(diǎn)擊量:638

  免費咨詢(xún):86-021-59966206

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半導體設備真空腔高精度測溫系統Vac.TEMP TS

1、精密測溫NTC傳感器;

2、真空貫通法蘭;

3、精密多通道測溫儀;

4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

半導體設備真空腔高精度測溫系統精密NTC測溫傳感器技術(shù)規范


名稱(chēng)

指標

標稱(chēng)電阻

10000Ω@25℃

絕對精度

≤10、5、1mK

重復精度

≤1mK@30min、1Hz

年漂移量

<10、5、1mK

線(xiàn)制

4線(xiàn)

探頭封裝

316L圓柱封裝或定,內部填充不留氣,不漏氣

引線(xiàn)材質(zhì)

PTFE(真空)

響應時(shí)間

≤1s

探頭尺寸

≤φ2.0*10mm

連接器 

DB

真空饋通

法蘭

引線(xiàn)端子

智能航插

校準

提供校準報告


溫度采集儀618A/NTC技術(shù)規范


名稱(chēng)

指標

溫度校準范圍

16-70℃

測量模塊絕對精度

≤10、5、1mK@1Hz/通道

測量模塊年漂移

≤10、5、1mK

測量通道數量

4、8、16、32、120個(gè)可選

采樣頻率

可調,最大≥10Hz/通道

激勵電流

≤10uA

運行/故障指示燈

單通道獨立控制

輸入

4線(xiàn)制NTC

通訊接口

LAN/RS485/USB

通訊協(xié)議

Modbus RTU

數據格式

機器時(shí)間-對應通道的溫度值

設備記錄時(shí)間功能

有內部時(shí)鐘,采集頻率<1Hz時(shí),時(shí)間差≤0.1s

測溫探頭接口

航空插頭

軟件

配套DAQ數據采集軟件

供電電源

AC220V適配器


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