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ALICAT 氣體質量流量計

更新時間:2022-11-15

簡要描述:

ALICAT 氣體質量流量計20系列,采用內部補償型層流壓差
技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳
感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對
用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度,
適用于多種流量測控場合。

型號:20系列點擊量:872

  免費咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

ALICAT 氣體質量流量計

應用及案例 


●  大學/研究所           ●  泄漏檢測
●  環(huán)境監(jiān)測                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計量校準
●  過程工藝氣體測量

ALICAT 氣體質量流量計

產品特色 



●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數

●  可測范圍廣,0.01~100%滿量程

●  響應時間快,優(yōu)于10 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣


技術指標


介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體,請參考背面

            一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量范圍    0.01~100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± (0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程)精度升級部分見左下角

            ± (0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程)(可選)

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差

重 復 性    ± (0.2 %讀數+0.02 %滿量程)

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±(0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準壓力開始)

響應時間    優(yōu)于10 ms (與流量相關)  

預熱時間    < 1 s

默認標況(STP)    25 ℃&1Atm(其它標況可調)

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95%,無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓(可選2 MPaG高壓系列)

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80 KPa以上使用;

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(讀數>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)

最大進出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率;

                模擬信號:1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、

                     DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC (如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須為12 - 24VDC)

供電電流    40mA,額外加 40 mA( 4 - 20 mA或0-10VDC輸出)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA (可選)


精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM,

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指標升級:

質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)

質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復性 ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程)

質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃(從 25 ℃開始)

± 0.01% 滿量程 / Atm(從校準壓力開始)

質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃(從 25 ℃開始)

± 0.1 % 讀數 / Atm(從校準壓力開始)


選項配件


●  標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數:質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內置30種氣體可選
200:1量程可調比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保


●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體(最多4種)
定制流量范圍


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